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半導(dǎo)體烤箱SEO系列

型號:SEO-100N

半導(dǎo)體充氮烤箱通用性強,具有高穩(wěn)定性和高性能,采用高容量水平空氣再循環(huán)系統(tǒng),采用專有的腔室結(jié)構(gòu)和密封技術(shù),具有出色的氣密性和溫度均勻性,滿足半導(dǎo)體產(chǎn)品高性能要求。此烤箱適用于固化半導(dǎo)體晶圓、IC封裝(銅基板,銀膠,硅膠,環(huán)氧樹脂)、玻璃基板等產(chǎn)品烘烤。

半導(dǎo)體烤箱產(chǎn)品特點:


1、 高容量水平空氣再循環(huán)熱風(fēng)系統(tǒng)可實現(xiàn)高性能溫度均勻性;

2、 內(nèi)材質(zhì)采用不銹鋼板,整個內(nèi)腔全密封設(shè)計,防止空氣進入箱體內(nèi),同時節(jié)省氮氣使用;

3、 采用大功率耐高溫長軸馬達,大尺寸渦輪扇葉,可以高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作;

4、 升溫速率可控,設(shè)定工藝曲線,一鍵運行,冷卻系統(tǒng)輔助降溫,可有效提高生產(chǎn)效率;

5、 高精度溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度可達到0.5℃,控制可靠,使用安全;

6、 高效潔凈處理,千級潔凈室老化測試,滿足半導(dǎo)體無塵車間及產(chǎn)品要求;

7、 箱體內(nèi)低氧含量控制,實時顯示,雙通道分析系統(tǒng),氧含量可控制在100PPM以內(nèi).




型號SEO-100N
箱體部分
箱體工作尺寸L700*W550*H(600*2)mm
箱體數(shù)量及工作方式兩箱體,每個箱體可獨立運行
熱風(fēng)系統(tǒng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)速風(fēng)量可調(diào)
冷卻系統(tǒng)水冷循環(huán)系統(tǒng),按客戶車間冷卻水
氮氣系統(tǒng)配置流量計、氧分儀,實時顯示氧含量
內(nèi)部配置配置4個不銹鋼支層架,層架間距可調(diào)節(jié)
控制部分
溫度工作范圍室溫+10℃~250℃
溫度控制方式PID閉環(huán)控制+SSR驅(qū)動
控制系統(tǒng)PC+PLC電氣控制系統(tǒng),Windows操作界面
控溫精度±0.5℃
溫度均勻性±2%℃(空載)
升溫速率≥5℃/min
降溫速率2-5℃/min
加熱功率10KW*2
含氧量控制≤500PPM(選配:≤100PPM)
使用電壓AC3?  5W  380V50/60HZ
總功率21KW
MES通訊協(xié)議標(biāo)配
潔凈等級1000
機體參數(shù)
外形尺寸(LxWxH)L1700*W1200*H1800mm
重量500-800kg
外觀顏色光亮皺紋白
備注:各種氮氣或真空烤箱可定制


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